应用领域
半导体激光系统和激光光学系统在现代泛半导体制程,如光学检测等应用中扮演着至关重要的角色。
光学检测是一种利用光学技术来监测和控制半导体制造过程的方法。在半导体制程中,光学检测应用可以用于测量和分析不同阶段的工艺参数,确保芯片的质量和性能,如表面检测和缺陷检测、掩膜版检测等。
多年来,业界领先的高性能半导体设备制造商受益于炬光科技微光学光束整形产品的诸多优势,例如大透镜纵深(大数值孔径)、光场非均匀度低(1%)、高品质材料选择范围广(玻璃、石英、半导体等)。炬光科技与客户紧密合作,致力于用微光学技术为客户提供创新和优化的解决方案。
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