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2022年8月4日,炬光科技全新发布Flux H系列可变光斑激光系统。该系统输出光斑长度和宽度在2mm到200mm范围内分段连续可调,光斑均匀度>97%,具备闭环温控功能,适用于泛半导体制程解决方案。
炬光科技 Flux H 系列可变光斑激光系统
随着激光技术的飞速发展,激光应用领域在广度和深度上不断拓展,各行业对于加工效率以及加工精度也不断提出更高要求,进而对高均匀度以及不同尺寸光斑的需求不断增多。激光光斑从传统的“点”已经逐渐发展为加工效率更高的“线”和“面”。目前高均匀度(>97%),且长宽灵活可变的“线”、“面”光斑已被广泛应用在面板显示、集成电路、锂电池制造、玻璃和光伏等泛半导体制程解决方案。
线光斑、面光斑加工方式示意
01 基于4000W功率976nm波长的半导体光源
02 实现输出光斑长宽方向2~200mm分段连续可调
产品性能参数
不同工作距离下的光斑尺寸变化范围
始终处于活动状态