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炬光科技300mm*300mm玻璃微光学晶圆

发布日期:2020-04-16 21:45:26

炬光科技的微光学技术能够在任意玻璃材料上,实现二维自由度的微米级、纳米级结构,能够实现对激光器的快轴准直/慢轴压缩、光束耦合、光场高度匀化、光束扩散、不同形式的光束之间转换、各种光斑形状的输出,以及任意几何尺寸的视场。



视频时长40秒


炬光科技的第五代微光学晶圆加工工艺,可实现一次成型最大 300mm*300mm 玻璃微光学晶圆,仅用一块晶圆即可生产2.5万个标准尺寸的高精度FAC透镜。并且如视频中所示,同一晶圆上可以实现不同的微光学结构。在相同的加工时间内,产出大幅增加,从而生产成本极大降低,使得高精度的玻璃微光学器件能够在价格敏感的领域实现规模化应用。


WG_P_889.jpg


相较于塑料材料,玻璃材料有较高的激光损伤阈值,性能稳定,不随温度、时间等因素而改变。和其他衍射光学元件(DOE)相比,炬光科技的折射光学元件(ROE)没有零级衍射效应,对光能量的利用率达到90%以上。


WK_871.jpg


炬光科技微光学产品包括快轴准直透镜(FAC)/阵列(array)、慢轴准直透镜(SAC)/阵列(array)、光场匀化器(homogenizer)、光束匀化扩散器(diffuser)、准直器(collimator)、光束转换器(BTS)等,在3D感知、材料加工、浸入式泛半导体制程、柔性显示制造、激光雷达等领域有广泛的应用。


关于炬光科技:


西安炬光科技股份有限公司成立于2007年,是一家全球领先的专业从事高功率半导体激光器、激光微光学元器件、光子技术应用解决方案的研发、生产及销售的国家级高新技术企业。公司围绕光子技术及应用领域,致力于为全球客户提供高功率半导体激光器与激光微光学核心元器件及光子技术应用解决方案,形成了全面、完善的研发、生产及销售服务体系。

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