炬光科技荣膺两项LFW Innovator Awards 2022年度创新大奖

近日，Laser Focus World评选的2022年度激光和光电行业创新奖（Innovator Awards）已经揭晓，炬光科技凭借“DLight S系列半导体集成电路晶圆退火系统”和“预制金锡氮化铝衬底”两款产品脱颖而出，分别荣膺银奖和铜奖。

炬光科技DLight®S系列半导体集成电路晶圆退火系统，结合多项产生光子、调控光子的核心技术，可生成一条线宽70μm，长宽比达160:1的近红外波段极窄线光斑，提供高达1800W/mm²的连续能量输出，主要应用于28nm及以下半导体逻辑芯片制造前道工序。通过将高能量密度激光照射到晶圆表面，在不到1毫秒的时间内将表层原子层加热到1000℃以上再急速冷却，有效减少工序中产生的晶圆电极缺陷，提高产品性能，提升晶圆生产良品率。

Laser Focus World创新奖（Innovator Awards）银奖，DLight S系列半导体集成电路晶圆退火系统

预制金锡薄膜技术是保证光电子器件长期可靠使用的关键技术，与传统铟、锡铅、锡铋等材料相比，金锡键合的器件在耐用性、抗氧化能力和抗热疲劳能力上具有更优异的表现。炬光科技是预制金锡薄膜工艺和金锡共晶键合工艺的技术领导者，在此领域拥有超过10年的技术沉淀。炬光科技预制金锡AIN陶瓷衬底AMC产品系列采用物理气相沉积工艺，预制金锡薄膜厚度可以做到10微米以内，公差为+/-1微米，厚度均匀性可以达到3%左右，在应用时大大增加了芯片封装界面焊料铺展的均匀性，降低封装界面空洞，再结合高精度表面加工水平，更加满足高功率芯片键合的需求，打破了日本公司95%以上市占率的地位。

Laser Focus World创新奖（Innovator Awards）铜奖，预制金锡氮化铝衬底