硅具有高折射率(n=3.4)、高硬度阻力、较低的温度敏感性、较低密度(2.329 g/cm³)
在0°~80°出射角下实现高达4mm的超大矢高值(Sag),最大限度提高硅材料光学器件数值孔径(NA)
可实现大矢高偏心微透镜阵列、闪耀光栅、啁啾阵列或集成棱镜
通过精密划切技术生产小微尺寸单只硅棱镜、柱镜等短波、中波红外用途光学器件
技术指标
利用炬光科技晶圆级同步 结构化制造技术加工的对称和非对称微结构
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