熔融石英、硅
8"晶圆级
二元、8阶、16阶
0.5μm的最小特征尺寸
< 70nm套刻精度
衍射效率高达98%
190nm至5μm波长范围
应用领域:半导体制程、光束整形、激光光学、光场匀化器/扩散器、相位板、三维传感、点阵发生器
技术指标
基于硅或熔融石英材质的衍射微纳光学元器件,2阶至16阶衍射元件设计,最小特征尺寸在500 nm 至1 μm,套刻误差小于70 nm,效率最高可达96%。可应用于泛半导体光场匀化器、高功率激光器光束整形系统、光纤互联涡旋透镜、点阵发生器和匀光扩散器等。
衍射微纳光学元器件亦可用作光场匀化器和整形器,以克服折射微透镜阵列在尺寸、重量或光斑形状等方面的限制,能够在单个元件中实现复杂的光学功能。
技术指标 |
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材质 |
熔融石英(各种等级)和硅 |
结构组成 |
2阶(二元)至16阶 |
精度 |
典型套刻误差 < 70 nm |
最小特征尺寸 |
500 nm 至1 μm ,根据阶跃高度和刻蚀深度而定 |
效率 |
高达 96 % |
始终处于活动状态