光场匀化器可生成多种光束形状- 平顶、矩形、方形和线形
均匀性达到技术极限 (不均匀度不超过1%)
高 NA、高填充因子和极化保持
光学效率高达 90%,有助于降低高昂的激光能量成本
采用优质材料熔融石英制成,适用于多种不同激光源(例如准分子激光器、固态激光器和半导体激光器)
在不同的晶圆尺寸(最大8英寸)上生产高精度的自由曲面透镜,如球形、六边形、方形
技术指标
应用领域
泛半导体制程
表面检测
照明
科学研究
车载激光雷达
激光净肤
激光嫩肤
三维口腔扫描
外科手术
3D感知
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