可从指定角度方向形成 ≥ 180 x 180 mm² 高度匀化光场,双轴方向均为平顶光强分布
光学效率可达90%, 全区域不均匀度<7.5%
适用多种激光光源(如半导体激光器、固体激光器、准分子激光器)
可用于多种应用场景,如材料表面加工、机器视觉、非接触式表面检测等
技术指标
应用领域
泛半导体制程
表面检测
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