高精度回射光学元件:实现精准光束返回和方向控制,综合角精度可达2–8 arcsec。
定制化棱镜解决方案:支持不同结构和规格的定制化设计。
技术指标
材质
石英、K9
综合角精度
2 – 8 arcsec
应用领域
泛半导体制程设备
半导体激光器测试/老化/自动化
科学研究
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